选拔赛前四轮于3月22日至25日在北京、杭州两地每日进行一轮，陆敏全四战四胜，率先出线。
在3月28日进行的第五轮比赛中，汪雨博、李小溪分别战胜王晨星和陆敏全，亦获得出线权。其余四个出线名额将在最终轮二至四台中产生，胜者出线，负者则拼小分。
最终轮于3月29日进行，李赫、吴依铭分别击败芮乃伟、王晨星，获得本赛入场券。芮乃伟虽然落败，但由于小分高，成功出线；王晨星与唐嘉雯大小分均相同，两人不得不于3月30日加赛，争夺最后一个出线名额。
在3月30日进行的加赛中，王晨星胜唐嘉雯，搭上末班车。
第5届吴清源杯世界女子围棋赛计划于2022年5月在线上启动第一阶段，14至16日第一轮八强赛，11月30日至12月4日进行半决赛、决赛三番棋的争夺。
以下为吴清源杯各轮赛果：
第六轮赛果:
汪雨博 胜 李小溪
陆敏全 胜 唐嘉雯
李 赫 胜 芮乃伟
吴依铭 胜 王晨星
周泓余 胜 方若曦
赵奕斐 胜 王爽
陈一鸣 轮空
第五轮赛果：
李小溪 胜 陆敏全
汪雨博 胜 王晨星
芮乃伟 胜 唐嘉雯
李 赫 胜 陈一鸣
吴依铭 胜 赵奕斐
周泓余 胜 王爽
方若曦 轮空
第四轮赛果：
陆敏全 胜 王晨星
唐嘉雯 胜 陈一鸣
李小溪 胜 芮乃伟
汪雨博 胜 王爽
李 赫 胜 周泓余
吴依铭 胜 方若曦
赵奕斐 轮空
第三轮赛果：
陆敏全 胜 芮乃伟
王晨星 胜 李小溪
汪雨博 胜 方若曦
唐嘉雯 胜 吴依铭
陈一鸣 胜 王爽
李 赫 胜 赵奕斐
周泓余 轮空
第二轮赛果：
王晨星 胜 王爽
李小溪 胜 陈一鸣
芮乃伟 胜 方若曦
陆敏全 胜 周泓余
唐嘉雯 胜 赵奕斐
吴依铭 胜 李赫
汪雨博 轮空
第一轮赛果：
陆敏全 胜 汪雨博
芮乃伟 胜 吴依铭
王晨星 胜 赵奕斐
方若曦 胜 李赫
李小溪 胜 唐嘉雯
陈一鸣 胜 周泓余